CLEAN OVEN 3존 : ATTC - 1400-3 ( 로봇타입 자동화 설비 ) 

1. 내부 SIZE(W)×(D)×(H) : 1400 × 1900 × 350 mm ( 3 존 )

2. 외부 SIZE(W)×(D)×(H): 2500 × 2750 × 2850 mm ( 변경 될수 있음.)

3. 사용온도 범위 :  R.T ～ 150℃

4. Temp. Control : 터치 P.C /미쓰비시 P.L.C 프로그램방식

5. Filter : ULPA   Filter 효율 : 0.3㎛ 99.98% / 6 ea

6. Refrigeration : Compressor  220 V .......15,000 Kcal/h 공냉식

7. 온도 분포도 : ±3℃ ( 무부하 상태 )

8.Main Power : 3Phase ,380 Volt 50/60Hz 전력량: 65 KW