ChamberInside Dimension : (W) 400 × (D) 400 × (H) 400mm ** 6 SET

Chamber Outside Demension : (W)2100 × (D) 1100 × (H)1950 mm (변경될수 있음)

Temp.Range : R.T ～ 200℃ ( MAX ) 사용온도 : 150 ℃ ～ 180℃ 조건

Temp.Accurac : ± 3.0℃

Insulation : Glass Wool + Ceramic Wool 120t

Filter : 고온용 ULPA Filter 효율 : 0.1㎛ 99.98% ( 75 t )

N2 공급 라인 : 압력계/ 플로우 메타 / 레구레다 설치.

Main Power : 220 V 3 Phase 30 KW ( 변경될수 있음)